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由德国JENAer公司生产的微位移测量激光干涉ZLM800仪,主要用于微位移部件的测量,角度变化量的监测,运动平台变化量的检测,及光刻机几何量的测量,数控机床几...
德国进口双频激光干涉仪ZLM700,用于机床的定位精度、重复定位精度、位移距离测量、速度加速度测量、线性度、直线度、垂直度、平面度、偏摆角、俯仰角、滚动角、角速...
ZLM900-3D微振动检测激光干涉仪由德国JENAer耶拿尔公司生产,为三轴外差式双频激光干涉仪,用于位移、俯仰角和偏摆角的三角关系测量,主要用于运动平台等微...
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